Ders Bilgileri

Ders Bilgileri
Ders Adı Kodu Dili Türü Yarıyıl T+U Saat Kredi AKTS
Kristal Büyütme Teknikleri FIZ 633 Türkçe Zorunlu 3 + 0 3,0 8,0
Ön Koşul Dersleri
Dersin Seviyesi Lisansüstü
Dersin Verilişi Anlatım
Dersin Koordinatörü Prof. Dr. Kadir GÖKŞEN
Dersi Veren(ler)
Dersin Amacı Hacimli ve ince film kristallerin büyütülme tekniklerini ve prensiplerini ve iç ölçüm tekniklerini öğretmek.
Dersin İçeriği Kristal büyütmenin gelişimi,Sıvı fazdan büyüme,Silikon ve GaAs büyütme metodları,Czochralski ve Brigman teknikleri,Epitaksiyel büyütme,Ultra yüksek vakum şartları ve teknikleri,Gazların Kinetik Teorisi,Kimyasal buhar faz birikimi/epitaksi (CVD),Metalorganik kimyasal buhar Epitaksi (MOCVD) teknikleri,Moleküler Demet Epitaksi (MBE),İç ölçüm teknikleri: RHEED, AES ve Elipsometre, Kütle spektrometresi
Ders Planı (Haftalık Konular)
Hafta Konular/Uygulamalar Yöntem
1. Hafta Kristal büyütmenin gelişimi.
2. Hafta Sıvı fazdan büyüme.
3. Hafta Silikon ve GaAs büyütme metodları.
4. Hafta Czochralski ve Brigman teknikleri.
5. Hafta Czochralski ve Brigman teknikleri.
6. Hafta Epitaksiyel büyütme.
7. Hafta Epitaksiyel büyütme, Ultra yüksek vakum şartları ve teknikleri.
8. Hafta ARA SINAV
9. Hafta Gazların Kinetik Teorisi.
10. Hafta Kimyasal buhar faz birikimi/epitaksi (CVD).
11. Hafta Metalorganik kimyasal buhar Epitaksi (MOCVD) teknikleri.
12. Hafta Moleküler Demet Epitaksi (MBE).
13. Hafta Moleküler Demet Epitaksi (MBE).
14. Hafta İç ölçüm teknikleri: RHEED, AES ve Elipsometre, Kütle spektrometresi
*Ara sınav ve final sınav tarihleri 14 haftalık ders işleyiş planında belirtilmemiştir. Ara sınav ve final sınav tarihleri Üniversitemiz Senatosu kararı ile akademik takvimde belirtilen tarihlerde yapılmaktadır.
Kaynaklar
Ders Kitabı veya Notu Ders Kitabı veya Ders Notu bulunmamaktadır.
Diğer Kaynaklar
  • • H.J.Scheel, T. Fukuda, Crsystal Growth Technology, Wiley, 2004. • G. Dhanaraj, K. Byrappa, V. Prasad, M. Dudley, Springer Handbook of Crystal Growth, Springer, 2009.