Ders Adı | Kodu | Yarıyıl | T+U Saat | Kredi | AKTS |
---|---|---|---|---|---|
Kristal Büyütme Teknikleri | FIZ730 | 3 + 0 | 3,0 | 7,5 |
Ön Koşullar | Yok |
Dersin Dili | Türkçe |
Dersin Seviyesi | Lisansüstü |
Dersin Türü | Ders |
Dersin Verilişi | Anlatım |
Dersin Koordinatörü |
Prof. Dr. Kadir GÖKŞEN |
Dersi Verenler | |
Dersin Yardımcıları | |
Dersin Amacı | Hacimli ve ince film kristallerin büyütülme tekniklerini ve prensiplerini ve iç ölçüm tekniklerini öğretmek. |
Dersin İçeriği | Kristal büyütmenin gelişimi,Sıvı fazdan büyüme,Silikon ve GaAs büyütme metodları,Czochralski ve Brigman teknikleri,Epitaksiyel büyütme,Ultra yüksek vakum şartları ve teknikleri,Gazların Kinetik Teorisi,Kimyasal buhar faz birikimi/epitaksi (CVD),Metalorganik kimyasal buhar Epitaksi (MOCVD) teknikleri,Moleküler Demet Epitaksi (MBE),İç ölçüm teknikleri: RHEED, AES ve Elipsometre, Kütle spektrometresi |
Ders Öğrenme Kazanımları |
Hafta | Konular | Öğretim Yöntemleri |
---|---|---|
1. Hafta | Kristal büyütmenin gelişimi. | |
1. Hafta | Kristal büyütmenin gelişimi. | |
2. Hafta | Sıvı fazdan büyüme. | |
2. Hafta | Sıvı fazdan büyüme. | |
3. Hafta | Silikon ve GaAs büyütme metodları. | |
3. Hafta | Silikon ve GaAs büyütme metodları. | |
4. Hafta | Czochralski ve Brigman teknikleri. | |
4. Hafta | Czochralski ve Brigman teknikleri. | |
5. Hafta | Czochralski ve Brigman teknikleri. | |
5. Hafta | Czochralski ve Brigman teknikleri. | |
6. Hafta | Epitaksiyel büyütme. | |
6. Hafta | Epitaksiyel büyütme. | |
7. Hafta | Epitaksiyel büyütme, Ultra yüksek vakum şartları ve teknikleri. | |
7. Hafta | Epitaksiyel büyütme, Ultra yüksek vakum şartları ve teknikleri. | |
8. Hafta | ARA SINAV | |
8. Hafta | ARA SINAV | |
9. Hafta | Gazların Kinetik Teorisi. | |
9. Hafta | Gazların Kinetik Teorisi. | |
10. Hafta | Kimyasal buhar faz birikimi/epitaksi (CVD). | |
10. Hafta | Kimyasal buhar faz birikimi/epitaksi (CVD). | |
11. Hafta | Metalorganik kimyasal buhar Epitaksi (MOCVD) teknikleri. | |
11. Hafta | Metalorganik kimyasal buhar Epitaksi (MOCVD) teknikleri. | |
12. Hafta | Moleküler Demet Epitaksi (MBE). | |
12. Hafta | Moleküler Demet Epitaksi (MBE). | |
13. Hafta | Moleküler Demet Epitaksi (MBE). | |
13. Hafta | Moleküler Demet Epitaksi (MBE). | |
14. Hafta | İç ölçüm teknikleri: RHEED, AES ve Elipsometre, Kütle spektrometresi | |
14. Hafta | İç ölçüm teknikleri: RHEED, AES ve Elipsometre, Kütle spektrometresi |
• H.J.Scheel, T. Fukuda, Crsystal Growth Technology, Wiley, 2004. • G. Dhanaraj, K. Byrappa, V. Prasad, M. Dudley, Springer Handbook of Crystal Growth, Springer, 2009. |
• H.J.Scheel, T. Fukuda, Crsystal Growth Technology, Wiley, 2004. • G. Dhanaraj, K. Byrappa, V. Prasad, M. Dudley, Springer Handbook of Crystal Growth, Springer, 2009. |