Ders Bilgileri

Ders Bilgileri
Ders Adı Kodu Yarıyıl T+U Saat Kredi AKTS
Kristal Büyütme Teknikleri FIZ730 3 + 0 3,0 7,5
Ön Koşullar Yok
Dersin Dili Türkçe
Dersin Seviyesi Lisansüstü
Dersin Türü Ders
Dersin Verilişi Anlatım
Dersin Koordinatörü Prof. Dr. Kadir GÖKŞEN
Dersi Verenler
Dersin Yardımcıları
Dersin Amacı Hacimli ve ince film kristallerin büyütülme tekniklerini ve prensiplerini ve iç ölçüm tekniklerini öğretmek.
Dersin İçeriği Kristal büyütmenin gelişimi,Sıvı fazdan büyüme,Silikon ve GaAs büyütme metodları,Czochralski ve Brigman teknikleri,Epitaksiyel büyütme,Ultra yüksek vakum şartları ve teknikleri,Gazların Kinetik Teorisi,Kimyasal buhar faz birikimi/epitaksi (CVD),Metalorganik kimyasal buhar Epitaksi (MOCVD) teknikleri,Moleküler Demet Epitaksi (MBE),İç ölçüm teknikleri: RHEED, AES ve Elipsometre, Kütle spektrometresi
Ders Öğrenme Kazanımları
Haftalık Konular (İçerik)
Hafta Konular Öğretim Yöntemleri
1. Hafta Kristal büyütmenin gelişimi.
1. Hafta Kristal büyütmenin gelişimi.
2. Hafta Sıvı fazdan büyüme.
2. Hafta Sıvı fazdan büyüme.
3. Hafta Silikon ve GaAs büyütme metodları.
3. Hafta Silikon ve GaAs büyütme metodları.
4. Hafta Czochralski ve Brigman teknikleri.
4. Hafta Czochralski ve Brigman teknikleri.
5. Hafta Czochralski ve Brigman teknikleri.
5. Hafta Czochralski ve Brigman teknikleri.
6. Hafta Epitaksiyel büyütme.
6. Hafta Epitaksiyel büyütme.
7. Hafta Epitaksiyel büyütme, Ultra yüksek vakum şartları ve teknikleri.
7. Hafta Epitaksiyel büyütme, Ultra yüksek vakum şartları ve teknikleri.
8. Hafta ARA SINAV
8. Hafta ARA SINAV
9. Hafta Gazların Kinetik Teorisi.
9. Hafta Gazların Kinetik Teorisi.
10. Hafta Kimyasal buhar faz birikimi/epitaksi (CVD).
10. Hafta Kimyasal buhar faz birikimi/epitaksi (CVD).
11. Hafta Metalorganik kimyasal buhar Epitaksi (MOCVD) teknikleri.
11. Hafta Metalorganik kimyasal buhar Epitaksi (MOCVD) teknikleri.
12. Hafta Moleküler Demet Epitaksi (MBE).
12. Hafta Moleküler Demet Epitaksi (MBE).
13. Hafta Moleküler Demet Epitaksi (MBE).
13. Hafta Moleküler Demet Epitaksi (MBE).
14. Hafta İç ölçüm teknikleri: RHEED, AES ve Elipsometre, Kütle spektrometresi
14. Hafta İç ölçüm teknikleri: RHEED, AES ve Elipsometre, Kütle spektrometresi
Kaynaklar
• H.J.Scheel, T. Fukuda, Crsystal Growth Technology, Wiley, 2004. • G. Dhanaraj, K. Byrappa, V. Prasad, M. Dudley, Springer Handbook of Crystal Growth, Springer, 2009.
• H.J.Scheel, T. Fukuda, Crsystal Growth Technology, Wiley, 2004. • G. Dhanaraj, K. Byrappa, V. Prasad, M. Dudley, Springer Handbook of Crystal Growth, Springer, 2009.