| Ders Adı | Kodu | Yarıyıl | T+U Saat | Kredi | AKTS |
|---|---|---|---|---|---|
| Kristal Büyütme Teknikleri | FIZ730 | 3 + 0 | 3,0 | 7,5 |
| Ön Koşullar | Yok |
| Dersin Dili | Türkçe |
| Dersin Seviyesi | Lisansüstü |
| Dersin Türü | Ders |
| Dersin Verilişi | Anlatım |
| Dersin Koordinatörü |
Prof. Dr. Kadir GÖKŞEN |
| Dersi Verenler | |
| Dersin Yardımcıları | |
| Dersin Amacı | Hacimli ve ince film kristallerin büyütülme tekniklerini ve prensiplerini ve iç ölçüm tekniklerini öğretmek. |
| Dersin İçeriği | Kristal büyütmenin gelişimi,Sıvı fazdan büyüme,Silikon ve GaAs büyütme metodları,Czochralski ve Brigman teknikleri,Epitaksiyel büyütme,Ultra yüksek vakum şartları ve teknikleri,Gazların Kinetik Teorisi,Kimyasal buhar faz birikimi/epitaksi (CVD),Metalorganik kimyasal buhar Epitaksi (MOCVD) teknikleri,Moleküler Demet Epitaksi (MBE),İç ölçüm teknikleri: RHEED, AES ve Elipsometre, Kütle spektrometresi |
| Ders Öğrenme Kazanımları |
- - Elektrostatik ve Manyetostatik kavram ve açıklamaları öğrenilir ve öğrenilen tekniklerle problem çözümü yapılır. |
| Hafta | Konular | Öğretim Yöntemleri |
|---|---|---|
| 1. Hafta | Kristal büyütmenin gelişimi. | |
| 2. Hafta | Sıvı fazdan büyüme. | |
| 3. Hafta | Silikon ve GaAs büyütme metodları. | |
| 4. Hafta | Czochralski ve Brigman teknikleri. | |
| 5. Hafta | Czochralski ve Brigman teknikleri. | |
| 6. Hafta | Epitaksiyel büyütme. | |
| 7. Hafta | Epitaksiyel büyütme, Ultra yüksek vakum şartları ve teknikleri. | |
| 8. Hafta | ARA SINAV | |
| 9. Hafta | Gazların Kinetik Teorisi. | |
| 10. Hafta | Kimyasal buhar faz birikimi/epitaksi (CVD). | |
| 11. Hafta | Metalorganik kimyasal buhar Epitaksi (MOCVD) teknikleri. | |
| 12. Hafta | Moleküler Demet Epitaksi (MBE). | |
| 13. Hafta | Moleküler Demet Epitaksi (MBE). | |
| 14. Hafta | İç ölçüm teknikleri: RHEED, AES ve Elipsometre, Kütle spektrometresi |
| • H.J.Scheel, T. Fukuda, Crsystal Growth Technology, Wiley, 2004. • G. Dhanaraj, K. Byrappa, V. Prasad, M. Dudley, Springer Handbook of Crystal Growth, Springer, 2009. |
| Program Yeterlilik | Katkı Düzeyi | DK1 | Ölçme Yöntemi |
|---|---|---|---|
| PY1 | 5 | 0 | 40,60 |
| PY2 | 5 | 5 | 40,60 |
| PY3 | 5 | 5 | 40,60 |
| PY4 | 4 | 4 | 40,60 |
| PY5 | 5 | 5 | 40,60 |
| PY6 | 5 | 5 | 40,60 |
| PY7 | 5 | 5 | 40,60 |
| PY8 | 4 | 4 | 40,60 |
| PY9 | 4 | 4 | 40,60 |
| PY10 | 5 | 5 | 40,60 |
| 0 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Ders Katkı Düzeyi | Yok | Çok Düşük | Düşük | Orta | Yüksek | Çok Yüksek |
| Ölçme Yöntemi | Yazılı sınav | Sözlü sınav | Ödev/Proje | Laboratuvar Çalışması | Sunum /Seminer |
| Etkinlik | Sayısı | Süresi (Saat) | Toplam İş Yükü (Saat) |
|---|---|---|---|
| Ders Saati | 14 | 3 | 42 |
| Ön Hazırlık, Pekiştirme Çalışmaları | 14 | 3 | 42 |
| Araştırma | 14 | 3 | 42 |
| Diğer Faaliyetler | 14 | 3 | 42 |
| Ara Sınav 1 | 1 | 2 | 2 |
| Ödev 1 | 1 | 19,25 | 19,25 |
| Final | 1 | 2 | 2 |
| Toplam İş Yükü | 191,25 | ||
| Dersin AKTS Kredisi | 7,5 | ||
